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承載方式: |
氣浮或靜油壓軸承技術 |
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臺面直徑: |
50-2000mm; 通孔設計 |
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承載能力: |
Max. 120000N |
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剛 度: |
Max. 5000N/um |
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精 度: |
軸向/徑向跳動<50nm |
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驅動方式: |
手動; 皮帶傳動(直流或步進電機); 扭矩電機; 壓電陶瓷 |
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測量系統: |
Heidenhain, RENISHAW等品牌旋轉編碼器 最高定位精度+/-0.5” |
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